到20世纪90年代,在美国欧洲等发达国家,高级氧化过程已应用于各种废水和饮用水处理过程。如美国休斯顿一家研究所将O3/UV系统用于处理含氰化物、农药及含氯的有机溶剂废水,使其几乎完全降解为无害物。在瑞士、法国和英国,利用TiO2/UVgn O3/UV系统结合的高级氧化过程已成功应用于氧化饮用水中的痕量有机物,与单一臭氧化法相比,处理费用下降约50%。目前,国内对单一系统的高级氧化法水处理技术也进行了大量研究,并取得了一些可喜的成果。如利用H2O2/UV系统处理造纸污水、利用O3/UV系统处理工业废水和废气、利用TiO2/UV系统处理印染及农药废水等均获得了良好的效果,且表现出了良好的市场前景和社会经济效益。